Technologische Basis

Reinraumlabor

 

Zur Durchführung von Forschungarbeiten und studentischen Praktika steht ein "reiner" Raum mit entsprechendem Equipment zur Verfügung. Das Equipment erlaubt die Prozessierung von Silizium Wafern mit einem Durchmesser von 4".

Neben Silizium können auch Glaswafer und Keramiken bearbeitet werden.

Weitere Geräte

• Laserinterferometrisches Vibrometer
• Windkanal
• Wafersäge
• Mess-PCs
• Hochspannungsnetzteile
• Datenerfassungskarten
• Funktionsgeneratoren
• Oszilloskope
• LCR-Meter
• Voltmeter
• Ätzbad für Leiterplattenstrukturierung
• ...